DieSachsenDas Fraunhofer ENAS in Chemnitz arbeitet mit dem Paul Scherrer Institut und memsstar an einer PFAS-freien Alternative für die Chipindustrie. Das neue Gas-MacEtch-Verfahren schützt Umwelt und Gesundheit – und spart Energie.
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Chips ohne Ewigkeitschemikalien – Forscher aus Chemnitz zeigen, wie es geht
Das Fraunhofer ENAS in Chemnitz arbeitet mit dem Paul Scherrer Institut und memsstar an einer PFAS-freien Alternative für die Chipindustrie. Das neue Gas-MacEtch-Verfahren schützt Umwelt und Gesundheit – und spart Energie.