Der Vorwurf der US-Regierung, eine hochmoderne EUV-Maschine zur Chipfertigung sei nach China gelangt, wiegt schwer. Ein Verkauf des Geräts, von dem laut ASML, derzeit genau 314 weltweit im Einsatz seien, wäre ein Verstoß gegen Exportbeschränkungen gegenüber China. Was steckt in den Maschinen? (+)

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50.000 Zinntropfen pro Sekunde: So entstehen die kleinsten Transistoren der Welt

Die EUV-Lithografiemaschinen von ASML sind zum neuralgischen Punkt bei der Chipherstellung geworden. Was steckt technisch in ihnen?

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