Projektabschluss High-End-Beschleunigungssensoren (HEB): Das Projekt beschäftigte sich mit der Entwicklung von kapazitiven Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ auf der Basis von Chip-Level-Prozessen. Hauptmerkmale sind eine deutlich erhöhte, seismische Masse, ein lateral angeordneter Differenzkondensator sowie ein hermetisches Package.

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