Für nano-SAXS-Messungen wird der #Röntgen-Strahl auf eine Größe von ca. 100 #Nanometer fokussiert. Weiche Blenden kurz vor der Brennebene filtern Untergrundstrahlung, dürfen aber in den Fokus selber nicht einschneiden oder gar für Streustrahlung sorgen; daher kommen häufig zwei, teilweise drei spezielle Blenden von wenigen Mikrometern Größe und weich präparierten Kanten zum Einsatz. Diese wurden mit einem #FIB Focused Ion Beam auf dünnen #Siliziumnitrit Si₃N₄-Schichten hergestellt.