Rapidus、日本で初めて量産対応EUV露光装置「NXE:3800E」のIIMへの設置作業を開始 – Rapidus株式会社

Rapidus株式会社（本社：東京都千代田区麹町4丁目1番地、代表取締役社長：小池淳義）は本日、北海道・千歳市で建設中の最先端半導体の開発および生産を行う「IIM*-1」に、蘭ASML社製のEUV露光装置を搬入し、設置作業を開始したことを発表しました。同日、これを記念して、新千歳空港ポルトムホールにて記念式典が執り行われました。